PRODUCT VERTICAL FURNACE : CROVE-V6, V8 Series

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VERTICAL FURNACE : CROVE-V6, V8 Series

VERTICAL FURNACE : CROVE-V6, V8 Series

CROVE-VERTICAL Series是以本公司自身的核心技术：温控技术、自动退运技术、真空与气体置换技术、冷却技术为基础
缩短Cycle的时间，展现High Throughput的Batch处理设备。

  • Wafer Size
    • 150~200mm
  • Application Process
    • Batch Thermal Process设备
    • 薄膜形成Process技术
    • 高温Anneal设备
    • 200毫米Wafer应对Thermal Process设备
  • Performance
    • Uniformity Heating Zone 400~1250℃
  • 设备特征
    • 最多能一次性处理150张Wafer的结构
    • 呈现Short Cycle Time的High Throughput
    • 呈现Boat Wafer Mapping System
    • 通过零部件Up-Grade，提高启动率、降低Down Time
    • 能够搭载Ramp Up/Down Heater
    • Window方式的Operation改善功能