PRODUCT MINI FURNACE : CROVE-M6, M8 Series

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MINI FURNACE : CROVE-M6, M8 Series

MINI FURNACE : CROVE-M6, M8 Series

CROVE-Mini Type Series由大学实验室、研究所能够使用的Mini Type Chamber构成。

  • Wafer Size
    • 包括Wafer试片，最多可以使用200mm
  • Batch Size
    • 能够一次性处理Wafer 1~50片(1Tube)
  • Application Process
    • LP-CVD, OXIDATION, ANNEAL
    • Batch Thermal Process设备
    • 薄膜形成Process技术
    • 高温Anneal设备
  • 设备特征
    • 能够添加、改造1~4Tube工程
    • 能够简便构成Lay-Out的Mini Type
    • 根据工程能够添加Bubbler
    • 通过零部件Up-Grade，提高启动率、降低Down Time
    • Window方式的Operation改善功能