PRODUCT HORIZONTAL FURNACE : CROVE-H6, H8 Series

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HORIZONTAL FURNACE : CROVE-H6, H8 Series

HORIZONTAL FURNACE : CROVE_H6,H8 SERIES

CROVE-HORIZONTAL Series是由能够生产处理150~300mm圆形晶圆与125~156mm四方形晶圆
的多用途Chamber。

  • Batch Size
    • 能够一次性处理Wafer 25~250片(1Tube)
  • Application Process
    • LP-CVD, OXIDATION, ANNEAL
    • Batch Thermal Process设备
    • 薄膜形成Process技术
    • 高温Anneal设备
  • 设备特征
    • 能够添加、改造1~4Tube工程
    • 能够使用手动或全自动化Loading的晶圆传输工具
    • 根据工程能够添加Bubbler
    • 通过零部件Up-Grade，提高启动率、降低Down Time
    • Window方式的Operation改善功能