PART DEVELOP Boat Wafer Mapping System

PART DEVELOP

Boat Wafer Mapping System

Boat Wafer Mapping System

进行工程与Unloading后进行Temp Down时，由于热应激产生的Wafer Broken问题
为预防WTR的驱动部发生冲突与Wafer的干涉产生的2次事故

 
 
 
  • 1) Wafer Detecting Sensor
    • 感知Wafer的Fiber Sensor。
  • 2) Black Box
    • Robot Moving时录像功能
    • 确认录像视频时与Pendant无线连接后Download
  • 3) 驱动部
    • 为Up & Down驱动的Motor Base驱动装置
    • Mapping Sensor的Swing & Stroke Cylinder驱动设备
    • 为最小化与E-axis的干涉使用Filter Cover空间
  • 4) Boat Position Sensor
    • 与 E-AXIS Home Sensor 分开安装的传感器
    • 为感知Boat Home Position的Sensor.
  • 5) Transfer Position Sensor
    • 与Z-AXIS Home Sensor，另设的Sensor
    • Transfer Moving时为防止碰撞的Interlock