PRODUCT VERTICAL FURNACE : CROVE-V6, V8 Series

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VERTICAL FURNACE : CROVE-V6, V8 Series

VERTICAL FURNACE : CROVE-V6, V8 Series

CROVE-VERTICAL Series는 당사의 핵심기술인 온도제어기술, 자동반송기술, 진공 및 가스 치환기술, 냉각기술을 바탕으로
Cycle시간을 단축하여 High Throughput을 구현한 Batch처리 장비입니다.

  • Wafer Size
    • 150~200mm
  • Application Process
    • Batch Thermal Process 장비
    • 박막 형성 Process기술
    • 고온 Anneal 장비
    • 200mm Wafer 대응 Thermal Process 장비
  • Performance
    • Uniformity Heating Zone 400~1250℃
  • 장비의 특징
    • Wafer 최대 150매까지 일괄처리할 수 있는 구성
    • Short Cycle Time구현에 의한 High Throughput
    • Boat Wafer Mapping System구현
    • 부품 Up-Grade로 인한 가동률 향상 및 Down Time저감
    • 고속 Ramp Up/Down Heater 탑재 가능
    • Window방식의 Operation 개선 기능