PRODUCT MINI FURNACE : CROVE-M6, M8 Series

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MINI FURNACE : CROVE-M6, M8 Series

MINI FURNACE : CROVE-M6, M8 Series

CROVE-Mini Type Series는 대학 실험실, 연구소에서 사용할 수 있는 Mini Type의 Chamber로 구성되어 있습니다.

  • Wafer Size
    • Wafer 시편을 포함하여 최대 200mm까지 사용가능
  • Batch Size
    • Wafer 1매~50매까지 일괄처리가능 (1Tube)
  • Application Process
    • LP-CVD, OXIDATION, ANNEAL
    • Batch Thermal Process 장비
    • 박막 형성 Process기술
    • 고온 Anneal 장비
  • 장비의 특징
    • 1~4 Tube까지 공정 추가와 변경 개조가 가능
    • Mini Type으로 Lay-Out구성의 용이함
    • 공정에 따라 Bubbler추가 가능
    • 부품 Up-Grade로 인한 가동률 향상 및 Down Time저감
    • Window방식의 Operation 개선 기능