PART DEVELOP Boat Wafer Mapping System

PART DEVELOP

Boat Wafer Mapping System

Boat Wafer Mapping System

공정 진행 및 Unloading후 Temp Down 진행시 열스트레스에 의해 발생되는 Wafer Broken 문제로 인하여
WTR의 구동부 충돌발생 및 Wafer와 간섭으로 인한 2차 사고 예방하기 위함

  • 1) Wafer Detecting Sensor
    • Wafer를 감지하는 Fiber Sensor.
  • 2) Black Box
    • Robot Moving시 녹화기능
    • 녹화 확인시 Pendant와 무선연결하여 Download
  • 3) 구동부
    • Up & Down 구동을 위한 Motor Base 구동장치
    • Mapping Sensor의 Swing & Stroke Cylinder 구동장치
    • E-axis과의 간섭의 최소화 하기위해 Filter Cover 공간활용
  • 4) Boat Position Sensor
    • E-AXIS Home Sensor와 별개로 추가 설치한 Sensor
    • Boat Home Position 감지를 위한 Sensor.
  • 5) Transfer Position Sensor
    • Z-AXIS Home Sensor와 별개로 추가 설치한 Sensor
    • Transfer Moving시 충돌방지를 위한 Interlock