연구소 기술개발 제품 및 기술 수준

• TRL(Technology Readiness Level) : 9단계 수준의 사업화 단계로
• 6, 8”Wafer Vertical Furnace 시스템반도체 운용 장비 설계, 개발 기술
• 6, 8”Wafer Horizontal Furnace 시스템반도체 운용 장비 설계, 개발 기술
• 6, 8”Vertical & Horizontal Furnace 시스템반도체 운용 장비의 소재/부품/장비 개량 신기술 및 국산화 신기술 보유

기타 현황

연구소의 기술개발 내용 및 보유 기술

• 반도체 공정 기술, Gas 유량 제어 기술, 장비 작동 Mechanism 기술
• 공압 기술, 반도체 전장 기술
• Furnace 내의 진공 기술, 열(heat) 제어 기술
• 반도체 장비 운용 HW(part module, frame etc.) 기구물 설계, 개발 기술
• 반도체 장비 운용 SW(PLC) 설계, 개발 기술
• 국내외 반도체 장비 개발 및 개량(repair) 기술
• 국내외 반도체 장비 소부장(소재․부품․장비) 국산화 기술 등

제품개발 실적

No.	사업 부문	주요 기능적·사업적 내용	비고
1	150-300mm V/F사업	Uniformity Heat Zone 400~800℃±0.3℃ Control구현 800~1300℃±0.5℃ Control구현 국내외 시스템반도체 시장 진출, 선점 판매 & 설치 기업 : SK Hynix System IC, DB Hitek, KEC etc.
2	150-300mm H/F사업	Uniformity Heat Zone 400~800℃±0.3℃ Control구현 800~1300℃±0.5℃ Control구현 국내외 시스템반도체 시장 진출, 선점 판매 & 설치 기업 : SK Hynix System IC, DB Hitek, KEC etc.
3	Wafer Auto Loader 사업	Graphic Touch Panel(Boat loading & Unloading, Sequence etc.) Control Unit(Motion, Safety Control etc) Motion Unit(Gripper Driver, X-Y-Z-R Axis Driver & Motor etc.)
4	Baking Oven 사업	50-300℃±1℃ Safety Interlock Over Heat Interlock 15 Inch Color Screen
5	Furnace Refurbish & Relocation	TEL α-8S, α-8SN & α-8SE Series TEL VCF-615 TEL IW-6 TEL 303i KE DD/DJ-802V, 813V, 815V, 823V, 825V, 835V, 853V Series etc.
6	S/W Program & 소재.부품.장비 국산화 사업	장비 운용 PLC Repair＆Overhaul 소부장 국산화(해외 의존도 탈피)　등