PRODUCT HORIZONTAL FURNACE : CROVE-H6, H8 Series

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HORIZONTAL FURNACE : CROVE-H6, H8 Series

HORIZONTAL FURNACE : CROVE_H6,H8 SERIES

CROVE-HORIZONTAL Series는 150~300mm원형웨이퍼와 125~156mm사각웨이퍼를 생산 처리할 수 있는
다목적 Chamber를 구성하고 있습니다.

  • Batch Size
    • Wafer 25매~250매까지 일괄처리가능 (1Tube)
  • Application Process
    • LP-CVD, OXIDATION, ANNEAL
    • Batch Thermal Process 장비
    • 박막 형성 Process기술
    • 고온 Anneal 장비
  • 장비의 특징
    • 1~4 Tube까지 공정 추가와 변경 개조가 가능
    • 수동 혹은 완전 자동화로 Loading할 수 있는 웨이퍼 전송 도구를 사용 가능
    • 공정에 따라 Bubbler추가 가능
    • 부품 Up-Grade로 인한 가동률 향상 및 Down Time저감
    • Window방식의 Operation 개선 기능